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기술명

저잡음 후면 조사 이미지 센서 및 이의 제조 공정

권리구분 특허
출원인 세종대 산학협력단
대표발명자 이름 소속학과 연구실
정종완 나노신소재공학과
대표연구분야
출원번호 10-2018-0062805 등록번호 10-2113041
출원일 2018-05-31 등록일 2020-05-14
특허원문 본 발명은 반도체 기판의 후면에 흡수층을 사용하지 않고, 후면 패시베이션층으로서 SiGe 또는 p-타입 SiGe를 성장시킴으로써 제조되는 후면 조사 이미지 센서에 대한 것이다. 이로써 실리콘 표면에 홀이 축적될 수 있는 층이 형성되어 실리콘과 SiGe 또는 p-타입 SiGe의 밴드정렬에 의해 가전자대역의 밴드오프셋이 발생하고, 따라서 이러한 가전자대역의 밴드오프셋으로 인해 정공이 표면에 축적되는 효과가 발생할 수 있다.
상세기술정보 1 기술명 기술요약
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기술분류(대) 재료 기술분야 재료·화학
적용분야 이미지 센서
기술명

저잡음 후면 조사 이미지 센서 및 이의 제조 공정

권리구분 출원인
특허 세종대 산학협력단
대표발명자
이름 소속학과
정종완 나노신소재공학과
대표연구분야
출원번호 등록번호
10-2018-0062805 10-2113041
출원일 등록일
2018-05-31 2020-05-14
특허원문
본 발명은 반도체 기판의 후면에 흡수층을 사용하지 않고, 후면 패시베이션층으로서 SiGe 또는 p-타입 SiGe를 성장시킴으로써 제조되는 후면 조사 이미지 센서에 대한 것이다. 이로써 실리콘 표면에 홀이 축적될 수 있는 층이 형성되어 실리콘과 SiGe 또는 p-타입 SiGe의 밴드정렬에 의해 가전자대역의 밴드오프셋이 발생하고, 따라서 이러한 가전자대역의 밴드오프셋으로 인해 정공이 표면에 축적되는 효과가 발생할 수 있다.
상세기술정보
기술명 기술요약
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기술분야 적용분야
재료·화학 이미지 센서