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기술명

그래핀 제조장치 및 그래핀 제조방법
권리구분 특허
출원인 세종대 산학협력단
대표발명자 이름 소속학과 연구실
김근수 물리천문학과
대표연구분야 나노전자소재연구실-고체물리실험 (그래핀, 탄소나노튜브, VO2 등의 나노소재 합성 및 응용)
출원번호 10-2019-0045320 등록번호 10-2037990
출원일 2019-04-18 등록일 2019-10-23
특허원문 그래핀 제조장치 및 그래핀 제조방법을 제공한다. 그래핀 제조장치는 제1 회전롤을 구비하고 다수 개의 낱개 기판들을 로딩하기 위한 기판 로딩 챔버, 제2 회전롤을 구비하는 롤 챔버, 상기 기판 로딩 챔버와 상기 롤 챔버 사이에 배치되고 증착 영역을 구비하는 반응 챔버, 상기 제1 회전롤에 접하고 상기 반응 챔버 내에서 연장되고 상기 제2 회전롤에 접하는 컨베이어 벨트, 및 상기 기판 로딩 챔버 내에 상기 기판을 하나씩 상기 컨베이어 벨트 상에 공급하는 로딩수단을 포함한다.
상세기술정보 3 기술명 기술요약
[동영상] 그래핀 제조장치 및 그래핀 제조방법 ▷그래핀 제조장치는, 기판 로딩수단(11) 및 제1 회전롤(17)을 구비하는 기판로딩 챔버(10)과 제2 회전롤(37)을 구비하는 롤 챔버(30) 사이에 증착 영역(21)을 구비하는 반응 챔버(20)을 포함하며, 반응 챔버(20) 내에 양단이 제1회전롤(17)과 상기 제2 회전롤(37)에 감긴 상태에서 반응 챔버(20) 내에서 연장되는 컨베이어 벨트(40)가 배치되고, 기판 로딩 챔버(10)와 상기 롤 챔버(30)에 가스 공급 라인(12)과 가스 방출 라인(32)이 각각 연결되며, 증착 영역(21)과 롤 챔버(30) 사이의 반응 챔버(20) 내에 흡착제(25)가 배치됨
관련동영상 https://www.youtube.com/watch?v=Qz1o4j3dSrY
기술분류(대) 기계 기술분야 기계·우주·항공
적용분야 그래핀 제조장치 (CVD)
기술명

그래핀 제조장치 및 그래핀 제조방법
권리구분 출원인
특허 세종대 산학협력단
대표발명자
이름 소속학과
김근수 물리천문학과
대표연구분야
나노전자소재연구실-고체물리실험 (그래핀, 탄소나노튜브, VO2 등의 나노소재 합성 및 응용)
출원번호 등록번호
10-2019-0045320 10-2037990
출원일 등록일
2019-04-18 2019-10-23
특허원문
그래핀 제조장치 및 그래핀 제조방법을 제공한다. 그래핀 제조장치는 제1 회전롤을 구비하고 다수 개의 낱개 기판들을 로딩하기 위한 기판 로딩 챔버, 제2 회전롤을 구비하는 롤 챔버, 상기 기판 로딩 챔버와 상기 롤 챔버 사이에 배치되고 증착 영역을 구비하는 반응 챔버, 상기 제1 회전롤에 접하고 상기 반응 챔버 내에서 연장되고 상기 제2 회전롤에 접하는 컨베이어 벨트, 및 상기 기판 로딩 챔버 내에 상기 기판을 하나씩 상기 컨베이어 벨트 상에 공급하는 로딩수단을 포함한다.
상세기술정보
기술명 기술요약
[동영상] 그래핀 제조장치 및 그래핀 제조방법 ▷그래핀 제조장치는, 기판 로딩수단(11) 및 제1 회전롤(17)을 구비하는 기판로딩 챔버(10)과 제2 회전롤(37)을 구비하는 롤 챔버(30) 사이에 증착 영역(21)을 구비하는 반응 챔버(20)을 포함하며, 반응 챔버(20) 내에 양단이 제1회전롤(17)과 상기 제2 회전롤(37)에 감긴 상태에서 반응 챔버(20) 내에서 연장되는 컨베이어 벨트(40)가 배치되고, 기판 로딩 챔버(10)와 상기 롤 챔버(30)에 가스 공급 라인(12)과 가스 방출 라인(32)이 각각 연결되며, 증착 영역(21)과 롤 챔버(30) 사이의 반응 챔버(20) 내에 흡착제(25)가 배치됨
관련동영상
https://www.youtube.com/watch?v=Qz1o4j3dSrY
기술분야 적용분야
기계·우주·항공 그래핀 제조장치 (CVD)
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