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| 기술명 |
자외선 검출 소자 및 이의 제조 방법 |
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| 권리구분 | 특허 | |||
| 출원인 | 세종대 산학협력단 | |||
| 대표발명자 | 이름 | 소속학과 | 연구실 | |
| 임유승 | 지능기전공학과 |
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| 대표연구분야 | *주요연구분야 - Power semiconductor materials & devices - Neuromorphic devices - Wearable healthcare sensor platform - Biosensor platform for neurotransmitter detection | |||
| 출원번호 | 10-2020-0156011 | 등록번호 | 10-2563180 | |
| 출원일 | 2020-11-19 | 등록일 | 2023-07-31 | |
| 특허원문 | 본 발명은 투명 전도성 산화물의 오믹/쇼트키 이종접합 기반의 산화갈륨 자외선 검출소자에 관한 것으로, Sn 도핑된 베타산화갈륨(Sn-doped β-Ga2O3) 웨이퍼 상에 Si 도핑된 베타산화갈륨(Si-doped β-Ga2O3) epitaxy층을 성장시켜 기판을 형성함 기판 하부에는 오믹접합으로 ITO 투명전극(Cathode전극)이 사용되며, 기판 상부에는 쇼트키접합으로 IZTO 투명전극(Anode 전극)이 사용됨 |
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| 상세기술정보 1 | 기술명 | 기술요약 | ||
| 등록된 자료가 없습니다. | ||||
| 기술분류(대) | 전기전자 | 기술분야 | 전기·전자 | |
| 적용분야 | 자외선 검출기, 광센서 | |||
| 기술명 | |
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자외선 검출 소자 및 이의 제조 방법 |
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| 권리구분 | 출원인 |
| 특허 | 세종대 산학협력단 |
| 대표발명자 | |
| 이름 | 소속학과 |
|
임유승
|
지능기전공학과 |
| 대표연구분야 | |
| *주요연구분야 - Power semiconductor materials & devices - Neuromorphic devices - Wearable healthcare sensor platform - Biosensor platform for neurotransmitter detection | |
| 출원번호 | 등록번호 |
| 10-2020-0156011 | 10-2563180 |
| 출원일 | 등록일 |
| 2020-11-19 | 2023-07-31 |
| 특허원문 | |
| 본 발명은 투명 전도성 산화물의 오믹/쇼트키 이종접합 기반의 산화갈륨 자외선 검출소자에 관한 것으로, Sn 도핑된 베타산화갈륨(Sn-doped β-Ga2O3) 웨이퍼 상에 Si 도핑된 베타산화갈륨(Si-doped β-Ga2O3) epitaxy층을 성장시켜 기판을 형성함 기판 하부에는 오믹접합으로 ITO 투명전극(Cathode전극)이 사용되며, 기판 상부에는 쇼트키접합으로 IZTO 투명전극(Anode 전극)이 사용됨 | |
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| 상세기술정보 | |
| 기술명 | 기술요약 |
| 등록된 자료가 없습니다. | |
| 기술분야 | 적용분야 |
| 전기·전자 | 자외선 검출기, 광센서 |