기술이전센터에서 보유하고 있는 지재권을 자세히 소개해드립니다
기술명 |
저농도 산화질소 가스 검출가능한 개시스터 |
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권리구분 | 특허 | |||
출원인 | 세종대 산학협력단 | |||
대표발명자 | 이름 | 소속학과 | 연구실 | |
김희동 | 전자정보통신공학과 |
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대표연구분야 | 지능형 반도체 소자/공정 | |||
출원번호 | 10-2022-0062210 | 등록번호 | 10-2771542 | |
출원일 | 2022-05-20 | 등록일 | 2025-02-18 | |
특허원문 | 개시스터(gasistor)를 제공한다. 상기 개시스터는 제1 전극, 제2 전극, 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하는 질화지르코늄막을 포함한다. 상기 질화지르코늄막은 ZrNx 막으로 x는 1보다 크다. 상기 개시스터는 상기 질화지르코늄막 내에 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 전기적으로 연결하는 질소공공 필라멘트를 생성하여 저저항 상태로 변화된 상태에서 산화질소를 검출할 수 있다. 상기 개시스터는 산화질소에 노출되면 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 흐르는 전류가 감소할 수 있다. 구체적으로, 상기 전류의 감소는 상기 질소공공 필라멘트의 적어도 일부가 산화질소와 반응하여 끊기거나 폭이 좁아짐에 기인할 수 있다. |
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상세기술정보 1 | 기술명 | 기술요약 | ||
등록된 자료가 없습니다. | ||||
기술분류(대) | 전기전자 | 기술분야 | 전기·전자 | |
적용분야 | 가스 센서 |
기술명 | |
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저농도 산화질소 가스 검출가능한 개시스터 |
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권리구분 | 출원인 |
특허 | 세종대 산학협력단 |
대표발명자 | |
이름 | 소속학과 |
김희동
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전자정보통신공학과 |
대표연구분야 | |
지능형 반도체 소자/공정 | |
출원번호 | 등록번호 |
10-2022-0062210 | 10-2771542 |
출원일 | 등록일 |
2022-05-20 | 2025-02-18 |
특허원문 | |
개시스터(gasistor)를 제공한다. 상기 개시스터는 제1 전극, 제2 전극, 및 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 위치하는 질화지르코늄막을 포함한다. 상기 질화지르코늄막은 ZrNx 막으로 x는 1보다 크다. 상기 개시스터는 상기 질화지르코늄막 내에 상기 제1 전극과 상기 제2 전극을 전기적으로 연결하는 질소공공 필라멘트를 생성하여 저저항 상태로 변화된 상태에서 산화질소를 검출할 수 있다. 상기 개시스터는 산화질소에 노출되면 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이에 흐르는 전류가 감소할 수 있다. 구체적으로, 상기 전류의 감소는 상기 질소공공 필라멘트의 적어도 일부가 산화질소와 반응하여 끊기거나 폭이 좁아짐에 기인할 수 있다. | |
상세기술정보 | |
기술명 | 기술요약 |
등록된 자료가 없습니다. | |
기술분야 | 적용분야 |
전기·전자 | 가스 센서 |