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기술명

쇼트키 장벽 심자외선 포토다이오드 및 그 제조 방법

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권리구분 특허
출원인 세종대 산학협력단
대표발명자 이름 소속학과 연구실
임유승 반도체시스템공학과
대표연구분야 *주요연구분야 - Power semiconductor materials & devices - Neuromorphic devices - Wearable healthcare sensor platform - Biosensor platform for neurotransmitter detection
출원번호 10-2024-0038909 등록번호 10-2826939
출원일 2024-03-21 등록일 2025-06-25
특허원문 DUV 검출 성능 및 고온 동작 특성을 향상시키기 위해, 모노 레이어 그래핀을 쇼트키 전극(텅스텐)과 산화갈륨 사이에 개재. 그래핀은 실리콘카바이드상에서 형성한 후 LRGT 방식으로 산화갈륨층에 전사함.
상세기술정보 1 기술명 기술요약
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기술분류(대) 재료 기술분야 재료·화학
적용분야 UV-C 영역의 포토다이오드 (화재감시, 오존감시 등)
기술명

쇼트키 장벽 심자외선 포토다이오드 및 그 제조 방법

권리구분 출원인
특허 세종대 산학협력단
대표발명자
이름 소속학과
임유승 반도체시스템공학과
대표연구분야
*주요연구분야 - Power semiconductor materials & devices - Neuromorphic devices - Wearable healthcare sensor platform - Biosensor platform for neurotransmitter detection
출원번호 등록번호
10-2024-0038909 10-2826939
출원일 등록일
2024-03-21 2025-06-25
특허원문
DUV 검출 성능 및 고온 동작 특성을 향상시키기 위해, 모노 레이어 그래핀을 쇼트키 전극(텅스텐)과 산화갈륨 사이에 개재. 그래핀은 실리콘카바이드상에서 형성한 후 LRGT 방식으로 산화갈륨층에 전사함.
상세기술정보
기술명 기술요약
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기술분야 적용분야
재료·화학 UV-C 영역의 포토다이오드 (화재감시, 오존감시 등)