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기술명

전공정 선택적 박막 증착 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 집적소자 제조방법

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권리구분 특허
출원인 세종대 산학협력단
대표발명자 이름 소속학과 연구실
허광 나노신소재공학과
대표연구분야 나노바이오 복합 구조 개발, 바이오 센서, 바이오 압전소자 등.
출원번호 10-2021-0020935 등록번호 10-2599358
출원일 2021-02-17 등록일 2023-11-02
특허원문 표면 개질 제어를 통한 어레이 형성 기술을 이용하여 바텀-업(Bottom-Up) 공정을 수행함으로써, 전공정 선택적 박막 증착 소자(All SelectiveDeposition Device)의 구현이 가능한 전공정 선택적 박막 증착 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 집적소자 제조방법 종래의 선택적 증착에 따른 각 층의 정렬을 위한 공정을 생략할 수 있고 소자의 특성을 향상 가능
상세기술정보 1 기술명 기술요약
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기술분류(대) 재료 기술분야 재료·화학
적용분야 태양전지 광전소자
기술명

전공정 선택적 박막 증착 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 집적소자 제조방법

권리구분 출원인
특허 세종대 산학협력단
대표발명자
이름 소속학과
허광 나노신소재공학과
대표연구분야
나노바이오 복합 구조 개발, 바이오 센서, 바이오 압전소자 등.
출원번호 등록번호
10-2021-0020935 10-2599358
출원일 등록일
2021-02-17 2023-11-02
특허원문
표면 개질 제어를 통한 어레이 형성 기술을 이용하여 바텀-업(Bottom-Up) 공정을 수행함으로써, 전공정 선택적 박막 증착 소자(All SelectiveDeposition Device)의 구현이 가능한 전공정 선택적 박막 증착 기술을 이용한 유무기 페로브스카이트 집적소자 제조방법 종래의 선택적 증착에 따른 각 층의 정렬을 위한 공정을 생략할 수 있고 소자의 특성을 향상 가능
상세기술정보
기술명 기술요약
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기술분야 적용분야
재료·화학 태양전지 광전소자