각 분야별 기술을 자세히 소개해드립니다.
| 기술명 | 나노결정립 형상기억합금을 포함하는 프로브 팁 | |||
| 기술요약 | ▷반도체 웨이퍼의 반복된 검사 공정에서 반복적인 재사용의 경우에도 선단부의 변형 및 왜곡이 감소된 프로브 팁과 사용된 프로브 팁의 변형을 용이하게 회복시킬 수 있는 프로브 팁의 형상 회복 방법에 대한 기술임 | |||
| 기술분야 | 6T | 대분류 | 적용분야 | |
| NT | 재료 |
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| 발명자 | 성명 | 소속학과 | 대표연구분야 | 연구실 |
| 김기범 | 나노신소재공학과 | 합금설계, 미세조직제어, 기계적 특성, 표면기능화 |
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| 관련지재권 정보 | 발명의 명칭 | 출원번호 | 등록번호 | |
| 비정질 전구체를 이용한 나노결정립 형상기억합금 또는비정질 합금을 포함하는 프로브 팁, 이를 포함하는프로브 카드 및 이의 형상 회복 방법 | 10-2016-0060598 | 10-1748082 |
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| 기술명 | |
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| 나노결정립 형상기억합금을 포함하는 프로브 팁 | |
| 기술요약 | |
| ▷반도체 웨이퍼의 반복된 검사 공정에서 반복적인 재사용의 경우에도 선단부의 변형 및 왜곡이 감소된 프로브 팁과 사용된 프로브 팁의 변형을 용이하게 회복시킬 수 있는 프로브 팁의 형상 회복 방법에 대한 기술임 | |
| 기술분야 | |
| 6T | 대분류 |
| NT | 재료 |
| 중분류 | 소분류 |
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| 발명자 | |
| 성명 | 소속학과 |
| 김기범 | 나노신소재공학과 |
| 대표연구분야 | 연구실 |
| 합금설계, 미세조직제어, 기계적 특성, 표면기능화 |
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| 관련지재권 정보 | |
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발명의 명칭
등록번호
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출원번호
특허공보
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비정질 전구체를 이용한 나노결정립 형상기억합금 또는비정질 합금을 포함하는 프로브 팁, 이를 포함하는프로브 카드 및 이의 형상 회복 방법
10-1748082
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