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이원준 교수
이원준 교수
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나노신소재공학과
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홍서경
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skhong93@sejong.ac.kr
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보유 기술
반도체소자
외
2
초고집적 반도체용 저온 SiN, 공정 효율 높인 증착 기술 개발
SiN 박막
고품질 박막
공정 시간 단축
박막 증착
반도체 공정
반도체 재료
실리콘 질화막
원자층 증착
저온 증착
전구체 절감
절연막 기술
증착 장치
질소 플라즈마 처리
차세대 반도체
화학기상증착
반도체소자
외
2
초고집적 반도체용 저온 SiN, 공정 효율 높인 증착 기술 개발
SiN 박막
고품질 박막
공정 시간 단축
박막 증착
반도체 공정
반도체 재료
실리콘 질화막
원자층 증착
저온 증착
전구체 절감
절연막 기술
증착 장치
질소 플라즈마 처리
차세대 반도체
화학기상증착
기계요소
외
2
실시간 높이 조절로 증착 효율 높이는 평탄화 장치 개발
ALD 공정
고체 전구체
기판 처리 장치
높이 조절 유닛
박막 형성 기술
반도체 공정 장비
반도체 재료 시장
반도체 증착
스크래칭 부재
웨이퍼 평탄화
전구체 소모량 감소
증착 품질 향상
증착 효율 개선
캐니스터 증발
평탄화 장치
기계요소
외
2
실시간 높이 조절로 증착 효율 높이는 평탄화 장치 개발
ALD 공정
고체 전구체
기판 처리 장치
높이 조절 유닛
박막 형성 기술
반도체 공정 장비
반도체 재료 시장
반도체 증착
스크래칭 부재
웨이퍼 평탄화
전구체 소모량 감소
증착 품질 향상
증착 효율 개선
캐니스터 증발
평탄화 장치
무기화학
외
2
ALD 기반 Ti-Te 분리막, 초고집적 상변화 메모리 개발
ALD 공정
PRAM 기술
Ti 도핑
Ti-Te 박막
메모리 소자
비휘발성 메모리
상변화 메모리
선택소자 개발
수퍼사이클 증착
열안정성 향상
원자층 증착
차세대 메모리
초고집적 반도체
칼코겐 화합물
확산 방지막
무기화학
외
2
ALD 기반 Ti-Te 분리막, 초고집적 상변화 메모리 개발
ALD 공정
PRAM 기술
Ti 도핑
Ti-Te 박막
메모리 소자
비휘발성 메모리
상변화 메모리
선택소자 개발
수퍼사이클 증착
열안정성 향상
원자층 증착
차세대 메모리
초고집적 반도체
칼코겐 화합물
확산 방지막
보유 기술
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홍서경
2025.07.11
반도체소자
외
2
초고집적 반도체용 저온 SiN, 공정 효율 높인 증착 기술 개발
SiN 박막
고품질 박막
공정 시간 단축
박막 증착
반도체 공정
홍서경
2025.07.11
반도체소자
외
2
초고집적 반도체용 저온 SiN, 공정 효율 높인 증착 기술 개발
SiN 박막
고품질 박막
공정 시간 단축
박막 증착
반도체 공정
홍서경
2025.07.11
기계요소
외
2
실시간 높이 조절로 증착 효율 높이는 평탄화 장치 개발
ALD 공정
고체 전구체
기판 처리 장치
높이 조절 유닛
박막 형성 기술
홍서경
2025.07.11
기계요소
외
2
실시간 높이 조절로 증착 효율 높이는 평탄화 장치 개발
ALD 공정
고체 전구체
기판 처리 장치
높이 조절 유닛
박막 형성 기술
홍서경
2025.07.11
무기화학
외
2
ALD 기반 Ti-Te 분리막, 초고집적 상변화 메모리 개발
ALD 공정
PRAM 기술
Ti 도핑
Ti-Te 박막
메모리 소자
홍서경
2025.07.11
무기화학
외
2
ALD 기반 Ti-Te 분리막, 초고집적 상변화 메모리 개발
ALD 공정
PRAM 기술
Ti 도핑
Ti-Te 박막
메모리 소자
홍서경
2025.07.11
무기화학
외
2
ALD 불소 없는 W/Mo 박막용 고효율 환원제 개발
ALD 기술
갭 필링 기술
결함 개선
고순도 증착
금속박막
홍서경
2025.07.11
무기화학
외
2
ALD 불소 없는 W/Mo 박막용 고효율 환원제 개발
ALD 기술
갭 필링 기술
결함 개선
고순도 증착
금속박막
