자외선 발광 소자 제조 시 고온 공정으로 발생하는 기판의 휨과 발광층의 결정 결함 문제를 해결하는 혁신 기술입니다. 본 발명은 베이스 기판과 질화물층 사이에 응력 흡수 패턴부를 도입하고, 특수 요철 구조의 AlN 지지층 및 스트레인 제어/완화층을 활용하여 내부 응력을 효과적으로 줄입니다. 이를 통해 소자의 신뢰성 저하와 수율 감소를 방지하며, 고품위 단결정 형성을 가능하게 합니다. 결과적으로 고효율의 자외선 발광 소자 제조를 실현하여 다양한 응용 분야에서 뛰어난 성능을 제공합니다.