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기존 자외선 발광소자는 고온 공정으로 인한 심한 스트레인과 결정 결함으로 인해 성능 저하 및 높은 제조 비용의 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해 스트레인을 자체적으로 해소하는 혁신적인 입체구조를 가진 고효율 자외선 발광소자를 제공합니다. 이 소자는 복수의 층이 요철형상의 입체구조를 이루고 스트레인 방향이 서로 반대인 층들을 포함하여, 결정 결함을 효과적으로 억제하고 도핑 효율을 획기적으로 향상시킵니다. 특히, 1200℃ 이하의 범용 MOCVD 장비 활용이 가능하여 생산성을 극대화하고 제조 원가를 절감할 수 있는 차별화된 기술입니다. 이를 통해 자외선 발광소자의 신뢰성과 광출력을 크게 개선하며 경제적 이점을 창출합니다.


기존 자외선 발광소자는 고온 공정으로 인한 심한 스트레인과 결정 결함으로 인해 성능 저하 및 높은 제조 비용의 한계가 있었습니다. 본 발명은 이러한 문제를 해결하기 위해 스트레인을 자체적으로 해소하는 혁신적인 입체구조를 가진 고효율 자외선 발광소자를 제공합니다. 이 소자는 복수의 층이 요철형상의 입체구조를 이루고 스트레인 방향이 서로 반대인 층들을 포함하여, 결정 결함을 효과적으로 억제하고 도핑 효율을 획기적으로 향상시킵니다. 특히, 1200℃ 이하의 범용 MOCVD 장비 활용이 가능하여 생산성을 극대화하고 제조 원가를 절감할 수 있는 차별화된 기술입니다. 이를 통해 자외선 발광소자의 신뢰성과 광출력을 크게 개선하며 경제적 이점을 창출합니다.

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