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나노구조외1
복합 실란 나노필러로 95배 강한 에나멜 와이어 개발
고전압 절연나노복합체내부분방전성무기 나노필러바니시부분방전 방지수명 연장실란 커플링제에나멜 와이어인버터 서지재료 분산전기 모터절연 고분자친환경차 권선코팅 기술
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나노구조외2
표면 스트레스 완화 결정질 SiC 박막 기술 개발
PECVDSiC 박막결정질 박막고온 반도체극한 환경 소자박막 제조 기술반도체 소자분할영역 기술스트레스 완화웨이퍼 생산전력 반도체증착 공정차세대 소재탄화실리콘표면 스트레스
나노구조외2
표면 스트레스 완화 결정질 SiC 박막 기술 개발
PECVDSiC 박막결정질 박막고온 반도체극한 환경 소자박막 제조 기술반도체 소자분할영역 기술스트레스 완화웨이퍼 생산전력 반도체증착 공정차세대 소재탄화실리콘표면 스트레스
나노구조외2
10nm 이하 MLCC 두께, 2차원 바륨타이타네이트 나노 시트 개발
2차원 소재BaTiO3High-k 유전체MLCC나노 시트나노 재료바륨타이타네이트박리 기술반도체 소자수열합성법습식화학법유전체 재료적층 세라믹 콘덴서전자부품 소형화초박막 기술
나노구조외2
10nm 이하 MLCC 두께, 2차원 바륨타이타네이트 나노 시트 개발
2차원 소재BaTiO3High-k 유전체MLCC나노 시트나노 재료바륨타이타네이트박리 기술반도체 소자수열합성법습식화학법유전체 재료적층 세라믹 콘덴서전자부품 소형화초박막 기술
고분자외2
이차전지 특성 향상 저온 액상 플라즈마 카본 블랙 개발
고결정성 탄소고성능 배터리나노 카본 입자비표면적 향상액상 플라즈마에너지 저장소재유기용매 플라즈마이차전지 도전재저온 제조 기술전극 재료 합성친환경 카본블랙카본 블랙카본블랙 시장탄소 나노 물질플라즈마 방전
고분자외2
이차전지 특성 향상 저온 액상 플라즈마 카본 블랙 개발
고결정성 탄소고성능 배터리나노 카본 입자비표면적 향상액상 플라즈마에너지 저장소재유기용매 플라즈마이차전지 도전재저온 제조 기술전극 재료 합성친환경 카본블랙카본 블랙카본블랙 시장탄소 나노 물질플라즈마 방전
반도체소자외2
초고집적 반도체용 저온 SiN, 공정 효율 높인 증착 기술 개발
SiN 박막고품질 박막공정 시간 단축박막 증착반도체 공정반도체 재료실리콘 질화막원자층 증착저온 증착전구체 절감절연막 기술증착 장치질소 플라즈마 처리차세대 반도체화학기상증착
반도체소자외2
초고집적 반도체용 저온 SiN, 공정 효율 높인 증착 기술 개발
SiN 박막고품질 박막공정 시간 단축박막 증착반도체 공정반도체 재료실리콘 질화막원자층 증착저온 증착전구체 절감절연막 기술증착 장치질소 플라즈마 처리차세대 반도체화학기상증착
기계요소외2
실시간 높이 조절로 증착 효율 높이는 평탄화 장치 개발
ALD 공정고체 전구체기판 처리 장치높이 조절 유닛박막 형성 기술반도체 공정 장비반도체 재료 시장반도체 증착스크래칭 부재웨이퍼 평탄화전구체 소모량 감소증착 품질 향상증착 효율 개선캐니스터 증발평탄화 장치
기계요소외2
실시간 높이 조절로 증착 효율 높이는 평탄화 장치 개발
ALD 공정고체 전구체기판 처리 장치높이 조절 유닛박막 형성 기술반도체 공정 장비반도체 재료 시장반도체 증착스크래칭 부재웨이퍼 평탄화전구체 소모량 감소증착 품질 향상증착 효율 개선캐니스터 증발평탄화 장치
무기화학외2
ALD 기반 Ti-Te 분리막, 초고집적 상변화 메모리 개발
ALD 공정PRAM 기술Ti 도핑Ti-Te 박막메모리 소자비휘발성 메모리상변화 메모리선택소자 개발수퍼사이클 증착열안정성 향상원자층 증착차세대 메모리초고집적 반도체칼코겐 화합물확산 방지막
무기화학외2
ALD 기반 Ti-Te 분리막, 초고집적 상변화 메모리 개발
ALD 공정PRAM 기술Ti 도핑Ti-Te 박막메모리 소자비휘발성 메모리상변화 메모리선택소자 개발수퍼사이클 증착열안정성 향상원자층 증착차세대 메모리초고집적 반도체칼코겐 화합물확산 방지막
무기화학외2
ALD 불소 없는 W/Mo 박막용 고효율 환원제 개발
ALD 기술갭 필링 기술결함 개선고순도 증착금속박막디에틸아미노보란몰리브데넘 증착박막 형성 방법반도체 공정반도체 재료불소프리 전구체원자층증착차세대 반도체텅스텐 증착환원제 조성물
무기화학외2
ALD 불소 없는 W/Mo 박막용 고효율 환원제 개발
ALD 기술갭 필링 기술결함 개선고순도 증착금속박막디에틸아미노보란몰리브데넘 증착박막 형성 방법반도체 공정반도체 재료불소프리 전구체원자층증착차세대 반도체텅스텐 증착환원제 조성물
무기화학외1
셀룰로오스 기반 고강도 금속, 경제적 제조법 개발
3차원 밀링 공정경량 복합재료경제적 제조방법고강도 금속 복합체금속 복합소재기계적 물성 향상목재 유래 셀룰로오스복합재료 개발셀룰로오스신소재 기술아크 주조 기술자동차 부품 소재재료 공학 기술탄소 입자 분산항공우주 소재
무기화학외1
셀룰로오스 기반 고강도 금속, 경제적 제조법 개발
3차원 밀링 공정경량 복합재료경제적 제조방법고강도 금속 복합체금속 복합소재기계적 물성 향상목재 유래 셀룰로오스복합재료 개발셀룰로오스신소재 기술아크 주조 기술자동차 부품 소재재료 공학 기술탄소 입자 분산항공우주 소재
고분자외1
아지도 포르메이트 기반 C-H 삽입으로 겔 형성 없는 고성능 올레핀 중합체 개발
α-올레핀 중합체겔 형성 억제고분자 제조 기술고분자 화학긴 사슬 가지 중합체무촉매 C-H 삽입사슬 얽힘 증대아지도 포르메이트용융 특성 향상중합 후 개질중합체 물성 개선탄성 중합체 개발폴리에틸렌폴리올레핀 개질폴리프로필렌
고분자외1
아지도 포르메이트 기반 C-H 삽입으로 겔 형성 없는 고성능 올레핀 중합체 개발
α-올레핀 중합체겔 형성 억제고분자 제조 기술고분자 화학긴 사슬 가지 중합체무촉매 C-H 삽입사슬 얽힘 증대아지도 포르메이트용융 특성 향상중합 후 개질중합체 물성 개선탄성 중합체 개발폴리에틸렌폴리올레핀 개질폴리프로필렌
고분자외1
촉매 없이 용융 특성 향상된 가지형 α-올레핀 중합체 개발
C-H 삽입α-올레핀 중합체가지형 고분자고기능성 플라스틱고분자 개질긴 사슬 가지무촉매 반응신소재 개발아지도 포르메이트용융 특성 향상재료 과학점탄성 개선중합 기술폴리올레핀 개질폴리프로필렌
고분자외1
촉매 없이 용융 특성 향상된 가지형 α-올레핀 중합체 개발
C-H 삽입α-올레핀 중합체가지형 고분자고기능성 플라스틱고분자 개질긴 사슬 가지무촉매 반응신소재 개발아지도 포르메이트용융 특성 향상재료 과학점탄성 개선중합 기술폴리올레핀 개질폴리프로필렌
나노구조외2
붕소/인 보호층으로 열적 안정성 높인 전자방출 소자 개발
CNT 보호층고온 안정성나노재료 응용디스플레이 소자붕소 인 코팅신뢰성 증대열안정성 향상저구동전압 기술전계방출 기술전자방출 효율전자방출소자차세대 디스플레이탄소나노튜브표면처리 공정필러층 구조
나노구조외2
붕소/인 보호층으로 열적 안정성 높인 전자방출 소자 개발
CNT 보호층고온 안정성나노재료 응용디스플레이 소자붕소 인 코팅신뢰성 증대열안정성 향상저구동전압 기술전계방출 기술전자방출 효율전자방출소자차세대 디스플레이탄소나노튜브표면처리 공정필러층 구조